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恒濕氮氣一體機(氮氣恒濕柜 / 制氮恒濕一體機)通用技術參數
分為兩類:外接氮氣源型、內置制氮一體機(自帶 PSA 制氮),多用于晶圓、IC、BGA、MSD 元器件、貴金屬、光學器件防氧化防潮存儲。
一、環境控制參數
表格
項目指標
濕度控制范圍 1%~60%RH可調,超低濕款可做到 1?10% RH
濕度精度 ±2~±3% RH;分辨率 0.1% RH
溫度顯示范圍 -9℃~99.9℃;精度 ±1℃;分辨率 0.1℃
氧含量(選配氧傳感器) 0?25% VOL,可設定氧閾值聯鎖充氮;精度≤±2% FS
柜內壓力 微正壓 5?20Pa,防止外界空氣滲入
降濕恢復時間 關門后 5?12min 達到設定濕度(視容積)
二、氣源參數
①外接氮氣源機型(市面主流)
輸入氮氣純度:≥99.99%(4N),露點≤?40℃
進氣工作壓力:0.2?0.4MPa
節氮控制:濕度 / 氧含量閉環,達標自動斷氣,超標自動充氮,帶流量調節
②內置制氮一體機(整機自帶 PSA 制氮模塊)
驅動氣源:干燥壓縮空氣,0.6?0.7MPa,露點≤?40℃
產出氮氣純度:95?99.9% 可調
產氮流量:300?1200L/h(按柜體容積選型)
三、柜體與結構參數
材質:冷軋鋼板防靜電烤漆(ESD 款);高端選配304 不銹鋼
防靜電:ESD 機型表面電阻 10??10?Ω,配防靜電接地端子
門體:鋼化玻璃觀察窗,加壓鎖密封門;單門 / 雙開門 / 多開門
層板:可調節活動層板,單層均勻承重 50?100kg
腳輪:帶剎車萬向腳輪 + 支撐調平腳
四、電氣與控制
供電:AC220V 50Hz;功率待機 15?30W,制氮一體機整機 300?800W
控制:7 寸觸摸屏 / LED 數顯;溫濕度、氧含量實時顯示;斷電參數記憶
報警:濕度超限、氧超限、門未關、氣源壓力不足聲光報警
數據(選配):USB 導出、RS485 通訊、上位機軟件,存儲溫濕度氧歷史記錄,滿足 J?STD?033D 物料管控
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